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上海硅酸盐所人工晶體研究中心召开第三十七期学术讲坛
2019-10-09 08:55:55 | 【 【打印】【關閉】

  923日上午,中國科學院上海硅酸盐研究所在嘉定园区G3樓报告厅举办了“独立建所60周年学术活动”之第三十七期人工晶体讲坛。邀请同济大学物理学院徐军教授和中國科學院上海微系统与信息技术研究所欧欣研究员作为主讲嘉宾,为上海硅酸盐所、同济大学、中國科學院上海光学精密机械研究所等单位的70余名科研人员与研究生分别作了题为“我国蓝宝石产业对晶体生长技术的推动及关于激光晶体发展态势的思考”和“先进硅基衬底材料及应用”的报告。报告会由中國科學院原副院长、上海张江综合性国家科学中心常务副主任、人工晶體研究中心学术委员会主任施爾畏研究员主持。施爾畏代表上海硅酸盐所向徐军教授和欧欣研究员表示热烈欢迎和诚挚感谢,并简要介绍了两位报告人在其领域方面取得的科学成果,希望与会人员能从两位科学家的报告中得到启示。   

  徐軍教授在報告中介紹了藍寶石産業化發展曆史、現狀、高/低端應用以及未來的應用前景。詳細介紹了藍寶石晶體生長的方法以及研究進展,重點介紹了其研究團隊自主研發的導模法工藝以及取得的成果,如:300*600*12 大板條、內/外徑分別爲F31/58mmF50/65mm且長度超過300mm的大尺寸厚壁單晶圓管、F60×350mm藍寶石晶棒、F0.42-0.44mm藍寶石光纖等。徐軍教授還針對激光晶體發展態勢闡述了自己的觀點,提出了激光晶體今後的主要發展趨勢,並提出實現激活離子局域配位結構調控是關鍵基礎科學問題之一,提出了建立激光晶體數據庫的必要性和迫切性。   

  歐欣研究員介紹了半導體集成電路與全球經濟的相關性,高端矽基襯底材料的發展方向以及我國半導體産業發展現狀。介紹了其研究團隊在SOISilicon-On-Insulator)技術方面取得的成果,如SOI技術路線、開發國際最低注氧劑量SOI材料制備技術及其應用。針對後摩爾時代、5G時代非矽材料的需求,其團隊發展了異質集合XOI技術,利用“萬能離子刀”矽基異質集成精准剝離技術,將-Ⅴ族半導體、寬禁帶半導體、矽基铌酸锂/钽酸锂等功能材料與矽基(Si/SiO2/SiC)襯底集成,解決XOI材料集成中多物理失配問題,建立XOI材料制備技術體系和中試平台,爲後摩時代核心光子、電子及量子器件提供關鍵材料支撐。   

  報告會中,與會人員與報告人就感興趣的問題展開了熱烈的交流與討論。 

施爾畏研究员主持报告会

同濟大學徐軍教授作報告

中國科學院上海微系统与信息技术研究所欧欣研究员作报告

交流提問現場

報告會現場 

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